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真空紫外分光光度計 VUVASシリーズ
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VUVASシリーズ真空紫外分光光度計は、真空や窒素パージ環境での光学素子、コーティング、フォトレジスト材料、基板などの反射・透過特性の測定に適したシステムです。測定波長範囲は120～350nmで、高いスループットにより優れた再現性と高いS/N比で測定可能です。主要な仕様として、VUVAS1000とVUVAS2000の2モデルがあり、真空度はそれぞれ10^-4 Torrと10^-6 Torr、測定精度はVUVAS2000が0.05%と高精度です。
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