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μPhase®は、超小型・モジュラータイプのデジタルレーザー干渉計で、本体寸法は110mm×45mm×70mmです。標準装備のμShapeソフトウェアにより、多彩なトポグラフィやフレキシブルな波面収差解析が可能です。トワイマングリーン干渉計（フィゾーへ切換可能）を採用し、口径変換レンズを用いて最大150mmΦまでの平面反射、球面反射、透過波面を測定できます。632.8nmの標準波長の他、355nm～1064nmに対応可能で、用途に応じたバージョンと機能拡張が可能です。
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