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G-TRANシリーズ ピラニゲージ SP1
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G-TRANシリーズ ピラニゲージ SP1は、測定子と回路部が一体型で、コストダウンと省スペース化を実現した真空計です。用途として、半導体・電子部品の製造装置や各種産業機器の低真空領域のプロセス制御に適しています。特長は、圧力表示器不要のトランスデューサ仕様で、配線を省略し、セットポイント2点の出力が可能です。フィラメントには耐食性に優れた白金を使用し、測定子の交換が容易です。圧力は0～5Vの非線形出力で、DC24V入力で動作します。
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