ピラニ真空計とは？製品一覧やピラニ真空計メーカーの一覧についても紹介

ピラニ真空計の特徴

ピラニ真空計の主な特徴は以下の通りです。

1. 広い測定範囲で高精度な真空測定

ピラニ真空計は、広範囲の真空圧力を高精度で測定できる装置です。通常、ピラニ真空計は絶対圧力の測定に使用され、低真空から高真空まで、数Pa（パスカル）から数百Paまでの圧力範囲で正確に測定ができます。

これにより、研究機関や産業機器の製造現場、真空チャンバーの監視など、さまざまな場面で使用されています。特に真空装置の動作確認やシステムの維持管理において、圧力値を精密に把握するために重要な役割を果たします。

2. 熱線の温度変化を利用した測定方式

ピラニ真空計は、熱線（フィラメント）の温度変化を利用して圧力を測定します。圧力が低くなると、熱線周辺の分子が少なくなり、熱線の放熱が減少します。この放熱量の変化を測定することで、圧力を推定します。

温度が一定であれば、圧力と放熱量の関係は直線的であり、この特性を活かして非常に正確に真空圧力を測定することができます。

3. コンパクトで扱いやすい

ピラニ真空計は、コンパクトな設計であり、比較的軽量で持ち運びやすいため、現場での使用に非常に適しています。また、設置や取り扱いが簡単で、定期的なメンテナンスも少なくて済むため、運用コストを抑えることができます。

デジタル表示が可能なモデルでは、圧力の変動がリアルタイムで分かりやすく表示されるため、作業効率も向上します。さらに、一般的には耐久性が高く、過酷な環境でも安定して測定を続けることができる点も大きなメリットです。

ピラニ真空計の用途

ピラニ真空計の主な用途は以下の通りです。

1. 高真空と低真空の測定

ピラニ真空計は、特に高真空および低真空範囲での圧力測定に使用されます。高真空とは、真空中の圧力が非常に低い状態を指し、真空技術を利用する多くの産業や研究分野で必要不可欠な測定ツールです。

ピラニ真空計は、電熱線（ヒーター）を用いてその温度変化を測定し、圧力を算出するため、真空の状態を簡単に測定できます。特に、物理学や化学実験、材料科学などの分野で、真空ポンプやチャンバーの性能を確認したり、真空度を最適化するために使用されます。

2. 半導体製造プロセスの監視

ピラニ真空計は、半導体製造プロセスで広く使用されています。半導体製造には、真空チャンバー内で行われる様々な処理（例えば、エッチングや蒸着など）が含まれており、これらのプロセスでは正確な真空度の管理が非常に重要です。

ピラニ真空計を使って真空度を測定することで、製造中のプロセスが所定の条件で正確に行われているかを監視し、製品の品質を確保することができます。

3. 真空ポンプや設備の性能検査

ピラニ真空計は、真空ポンプや関連する設備の性能検査にも用いられます。真空ポンプは、真空状態を作り出すための重要な機器であり、その性能が低下すると真空度が不十分となり、プロセスが正常に進まない可能性があります。

ピラニ真空計を用いて、ポンプが作り出す真空度を定期的に測定することで、ポンプの劣化や異常を早期に発見し、メンテナンスや修理が必要かどうかを判断することができます。これにより、設備の安定した運転と、システム全体の効率化が図れます。