白色干渉計とは？製品一覧や白色干渉計メーカーの一覧についても紹介

白色干渉計の特徴

白色干渉計の主な特徴は以下の通りです。

1.高精度な非接触測定

白色干渉計は、白色光の干渉現象を利用して、対象物の表面形状や高さをナノメートル単位で非接触測定する装置です。物理的な接触が不要なため、柔らかい素材や精密な部品の測定にも適しています。また、表面を傷つけずに極めて高い精度で測定できるため、半導体や光学部品などの微細加工品の評価に最適です。

2.三次元形状の迅速な測定

白色干渉計は、三次元の表面形状を短時間で計測できるのが特徴です。広い範囲を高解像度でスキャンでき、凹凸や微細な表面の変化を詳細に解析できます。このため、複雑な形状を持つ製品の品質管理や、製造プロセスの改善において重要な役割を果たします。

3.幅広い素材や用途に対応

白色干渉計は、金属、樹脂、セラミック、ガラスなど、さまざまな素材の測定に対応可能です。特に、半導体製造や光学部品の評価、医療機器や精密機械の表面検査において、その高い測定能力が活用されています。また、粗さ測定や膜厚測定、平面度の確認など、多機能な用途に対応できる点も大きな特徴です。

白色干渉計の用途

白色干渉計の主な用途は以下の通りです。

1.表面粗さの高精度測定

白色干渉計は、部品や製品の表面粗さをナノメートル単位で測定するために使用されます。例えば、精密機械や光学部品では、表面が極めて滑らかであることが性能や品質に直結します。白色干渉計は光の干渉を利用して非接触で表面を測定するため、サンプルに損傷を与えることなく正確なデータを取得できます。このため、高精度な加工部品の品質検査や表面仕上げの確認に欠かせない装置です。

2.薄膜やコーティングの厚さ測定

白色干渉計は、薄膜やコーティングの厚さを非接触で測定することにも適しています。半導体製造プロセスや、光学デバイスの製造において、膜の厚さが数ナノメートル単位で厳密に制御される必要がある場合、白色干渉計を用いることで正確な計測が可能になります。また、透明な材料の多層膜構造の測定にも対応しており、製造プロセス全体の品質を管理するのに役立ちます。

3.高精度な形状測定

白色干渉計は、3D形状を高精度で測定するためにも使用されます。例えば、レンズやミラーのような光学部品の形状検査や、マイクロ構造を持つ部品の形状評価に適しています。非接触測定のため、柔らかい素材や微細な構造を持つ部品でも損傷を与えることなく測定可能です。この特性により、研究開発から量産プロセスまで、幅広い分野で利用されています。